应用于x射线探测的科学级背照式cmos的研究，首发论文 -凯发网

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the characterization of a bsi scmos as a soft x-ray detector

首发时间：2018-11-20

wang wenxin ^{1
2}
wang wenxin(1982-),f,engineer,astronomical techniques and methods
ling zhixing ¹
ling zhixing(1983-),m,senior engineer,astronomical techniques and methods
zhang chen ^{1
3} jia zhenqing ¹ yuan weimin ^{1
3} zhang shuangnan ^{1
4}

1、national astronomical observatories, chinese academy of sciences, beijing 100101
2、department of engineering physics and center for astrophysics, tsinghua university, beijing 100084
3、school of astronomy and space science, university of chinese academy of sciences, beijing 100049
4、institute of high energy physics, chinese academy of sciences, beijing 100049

abstract：we test a newly developed back-side illumination scientific cmos (bsi scmos) device for x-ray imaging spectroscopy. this bsi scmos has an array of 2048*2048 pixels with 11 um pixel size and 3.6 um epitaxial thickness. it is an active pixel sensor with fast read-out, low power consumption, low readout noise and inherent radiation hardness. we have investigated the performances. the readout noise is 1.5 e- r.m.s. enc with energy resolution of 187 ev (3.2%) at 5.9 kev at -20oc. the dark currents as a function of temperature were also measured. this bsi scmos would be a quite promising device for x-ray applications.

keywords： x-rays

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应用于x射线探测的科学级背照式cmos的研究

王文昕 ^{1
2}
wang wenxin(1982-),f,engineer,astronomical techniques and methods
凌志兴 ¹
ling zhixing(1983-),m,senior engineer,astronomical techniques and methods
张臣 ^{1
3} 贾振卿 ¹ 袁为民 ^{1
3} 张双南 ^{1
4}

1、中国科学院国家天文台，北京 100101
2、清华大学工程物理系，北京 100084
3、中国科学院大学天文与空间科学学院，北京 100049
4、中国科学院高能物理研究所，北京 100049

摘要：近几年发展起来的科学级cmos探测器，具有读出速度快、低噪声、低功耗、抗辐射能力强等特性，有望满足未来空间x射线探测的需求。为检验其性能并验证应用于空间x射线探测的可能性，我们于国内率先对科学级cmos探测器的性能进行了研究，本文中的cmos包含2048*2048个像素，像素大小为11*11um，其外延层厚度为3.6um。我们对其读出噪声和暗电流进行了测试,并利用55fe放射源对其x射线响应和能量分辨率进行了研究，实验结果表明可以实现对x射线的探测。

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wang wenxin,ling zhixing,zhang chen,et al. the characterization of a bsi scmos as a soft x-ray detector[eb/ol]. beijing:sciencepaper online[2018-11-20]. https://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201811-89.

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应用于x射线探测的科学级背照式cmos的研究

论文编号	201811-89
论文题目	应用于x射线探测的科学级背照式cmos的研究
文献类型
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